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      电感耦合 ICP蜜桃人妻无码视频去胶机NE-Q32993948H
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      产品简介

      蜜桃人妻无码视频去胶机主要用于于晶圆去胶或掩膜去除等工艺,其由真空与压力控制系统、圆柱状石英腔体反应腔室、工艺气体与控制系统、PLC控制系统、射频及其匹配系统等构成。

      蜜桃人妻无码视频去胶机的原理:在石英腔室中,抽真空后通入适量的氧气,在射频电源创造的高频电磁场中,氧气被电离成O2-、O2+、O-、O+、氧原子O、臭氧等活泼的蜜桃人妻无码视频体,其中氧原子能量很高,在高频电场的辅助下可以使基片上的光致抗蚀剂与其快速发生氧化反应生成CO、CO2、H2O和其它挥发性氧化物,在真空状态下以气体形式被抽出反应腔,实现去胶的目的。

      蜜桃人妻无码视频去胶具有操作简单、去胶效率高、环保、成本低,去胶后晶圆表面干净光洁、无划痕等优点,在去胶工艺、扫底膜工艺中具有不可替代的作用。

      产品参数

      型号NE-Q32993948H
      功率0-500W 连续可调
      频率13.56MHz数字全自动阻抗匹配
      腔体材质石英耐热玻璃
      腔体容积32993948L
      腔体尺寸圆形)Φ250×300(D)mm
      气体流量控制器2 路 MFC 质量流量控制器, 0-300sccm
      气路数量2 路,支持空气,氧气等 (如需接入腐蚀性气体,请提前告知)
      真空计皮拉尼高精密电阻式真空
      极限真空度1PA
      控制系统PLC+7寸触摸屏
      蜜桃人妻无码视频产生方式ICP电感耦合
      电源供应220V
      外形尺寸753mm(L)×793mm(W) ×1482 mm(H)


      产品应用

      01

      光刻胶去除

      光刻胶去除

      02

      去除基片残胶

      去除基片残胶

      03

      有机物清洗

      有机物清洗

      04

      扫底膜工艺

      扫底膜工艺

      05

      表面活化

      表面活化

      06

      表面亲水处理

      表面亲水处理

      应用案例

      产品推荐

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